НИКА-127. Установка плазмохимическая шлюзовая

Установка плазмохимическая шлюзовая НИКА-127 предназначена для создания элементов радиационно-стойкой электроники и детекторных структур. Вакуумная камера установки оснащена: радиочастотным генератором плазмы РПГ-250 для создания индуктивной плазмы высокой плотности; столом высокочастотным автоматическим СВА-200; шлюзом для загрузки подложек; подъемником камеры с реактором; смотровыми окнами с двойными стеклами; подложкодержателем. Установка имеет автоматическое программное управление, обеспечивающее проведение технологического процесса в следующих режимах: наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных, ремонтно-профилактических работ; ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций; автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).