НИКА-158. Установка нанесения PVD покрытий

Установка нанесения PVD покрытий НИКА-158 - установка одностороннего магнетронного напыления резистивных пленок, входит в комплекс установок для производства гибридных интегральных схем.В зависимости от исполнения обеспечивает напыление до трех резистивных слоев в одном технологическом цикле. Покрытия наносятся с предварительной ионной очисткой и нагревом на пластины размером 60х48 мм и кратные им. Установка работает в автоматическом и ручном режиме, обеспечивает проведение технологического процесса в следующих режимах:- наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных, ремонтно-профилактических работ;- ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций;- автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).