НИКА-154. Установка нанесения PVD покрытий
НИКА-145. Установка нанесения PVD покрытий
НИКА-158. Установка нанесения PVD покрытий
Установка плазмохимическая шлюзовая НИКА-127
Полуавтомат плазмохимического удаления фоторезиста "ПЛАЗМА-150МТ"