НИКА-154. Установка нанесения PVD покрытий

Установка нанесения PVD покрытий НИКА-154 - установка двухстороннего магнетронного напыления тонких пленок, входит в комплекс установок для производства гибридных интегральных схем.В зависимости от исполнения обеспечивает напыление до трех металлов в одном технологическом цикле. Предназначена для напыления толстых пленок меди со скоростью напыления до 0,3 мкм в минуту с высокой адгезией методом ТИМР (Термическое Испарение в Магнетронном Разряде). Применяется установка для напыления тонких пленок при изготовлении изделий по гибридной технологии (ГИС). Покрытия наносятся с предварительной ионной очисткой и нагревом на пластины размером 60х48 мм и кратные, а также на пластины диаметром 76 и 100 мм.Установка работает в автоматическом и ручном режиме, обеспечивает проведение технологического процесса в следующих режимах:- наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных, ремонтно-профилактических работ;- ручной режим - управление элементами установки