НИКА-145. Установка нанесения PVD покрытий

Установка нанесения PVD покрытий НИКА-145 - установка двустороннего напыления тонких пленок на малогабаритные изделия. Установка применяется для напыления тонких пленок, в том числе при изготовлении акселерометров, кварцевых резонаторов, и других подобных изделий. В зависимости от исполнения обеспечивает напыление до трех металлов в одном технологическом цикле, оснащаться может термическими испарителями, испарителями с электронным нагревом, магнетронами.Установка работает в автоматическом и ручном режиме, обеспечивает проведение технологического процесса в следующих режимах:- наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных, ремонтно-профилактических работ;- ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций;- автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).